[集成电路制造工艺的Cpk及P水平评价]集成电路T0P223

  摘要:该文在阐述Pσ设计概念以及与成品率、DPMO换算方法的基础上,分析了影响Pσ设计水平评价精度的关键问题,提出了解决问题的算法,并且自行开发了相应的计算软件,实现了Pσ设计水平与成品率、DPMO相互间的高计算精度换算。
  关键词:Pσ设计;DPMO
  中图分类号:TP393文献标识码:A文章编号:1009-3044(2012)05-1166-02
  随着微电子技术的迅速发展,对集成电路的可靠性做出进一步的要求,提出了6σ设计要求,即对应的pkC为1.5。为了评价实际达到的设计水平,如何准确实现Pσ设计水平与DPMO(百万机会缺陷数)之间的换算成为需要探讨的问题:
  根据6σ设计的基本理论,Pσ设计水平与相应的DPMO之间存在下述关系:
  DPMO={(1.5)PF-+[1-(1.5)PF+]}*100000(1)
  当P大于3的时候,[1-(1.5)PF+]值远小于(1.5)PF-值,可以用下面近似公式计算DPMO:
  DPMO=(1.5)PF-*100000
  (2)
  目前出版的关于“6σ”设计,“6σ管理”的著作和教材中基本都附有6σ设计水平与DPMO对照表。但是一般存在下述两个问题: 1)对照表中通常只给出7σ水平以内的对照数据,对于较高设计水平(例如大于7σ设计水平)情况,查阅不到相应的DPMO值。2)在低的设计水平下给出的DPMO值偏差较大。不少出版物给出的6σ设计水平范围内的Pσ设计水平与DPMO对照数据中存在一个共同的问题,即是在低于2σ设计水平的时候,给出的DPMO明显偏低。设计水平越低,对应的DPMO值偏差就越大。在超过3σ设计水平的时候,相应的DPMO的值才是正确的。表1列出的4σ设计水平范围内Pσ设计水平与DPMO值的对照数据明显地反映了这一问题。(括号内是一些关于“6σ设计”,“6σ管理”的著作和教材中给出的数据)
  表1 Pσ设计水平与DPMO对照表
  在设计水平较低情况下,Pσ设计水平同DPMO换算关系出现偏差的原因是,不管P值是多大,即使P值小于2,这些出版物中均直接采用(2)式计算DPMO,而没有采用“精确”公式(1)。
   2对于Pσ设计指标的算法
  2.1关于正态分布的算法
  在高设计水平情况下,为了实现Pσ设计水平与DPMO值之间的高精度换算,我们需要对正态分布函数算法进行优化,以获得高精度的计算结果。采用连分式计算正态分布函数可以满足这一要求。下面会展开讨论换算的关键在于正态分布的计算,要是结果达到比较高的精度,就需要对正态分布进行优化的计算,因为xj( )是对称函数,只需要给出x>0时,()XF的计算方法可得() xj -的值。()XF的两个连分式展开式为:
  采用上述连分式,当取n=28时,精度可达10-12。
  2.2给出Pσ设计水平而计算DPMO
  在设计水平较低的时候,我们利用(1)式计算DPMO,当P大于3的时候,可以用近似公式(2)计算DPMO。其中正态分布函数
  ()X F采用(5)式所示的连分式计算方法,以保证计算精度。
  2.3给出DPMO计算Pσ设计水平
  采用式(1)有给出的DPMO计算对应的表征Pσ设计水平的P值结果是一个非线性方程的求解问题。在编程里采用的是二分法。只要确定了含根区间,就一定可以利用f(x)=0的解,因而算法安全可靠,在计算机字长允许的情况下,可以达到很高的精度。
  将方程含根区间(a,b)重复分半:1,2,( , )()...()
  例如:若要求算评价的设计水平范围一直到8s设计水平,即b=8,a=0,设计水平评价要求为0.01。由上面的式子得:N312.9,即:需要13次迭代计算。
   3设计水平较高的水平下,DPMO的值
  在较高设计水平下,通过以上的算法可以自行开发软件,并且计算得出下面的Pσ与DPMO(单位: PPM)的对照表:
  表2高设计水平下, Ps与DPMO对照表
  以上数据计算结果与Mathematic工具结果相一致。笔者开发的这款软件在参考文献[1]中被引用作为换算工具。
  参考文献:
  [1]贾新章,李京苑.统计过程控制与评价-Cpk, SPC和PPM技术[M].北京:电子工业出版社,2004.
  [2] Eugene L,Grant, R S.Leavenworth, Statistical Quality Control[M].6th, McGraw-Hill,1976.
  [3]王淑君.常规控制图与累积和控制图[M].北京:国防工业出版社,1990.

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